完全自主研发的超高速机械齿轮增速器助力半导体制造

近日，位于明月湖畔的重庆大学高端装备机械传动全国重点实验室传来捷报：由实验室联合国家卓越工程师学院研发的超高速机械齿轮增速器成功通过验收并完成交付。

该设备是半导体制造领域的重要核心部件，主要应用于晶圆制造、封装测试等关键工艺环节。在3D封装过程中，其高效的钻孔性能可显著提升加工效率并降低热损伤。同时，在刻蚀机运行中，它能优化气体流量控制，提高刻蚀均匀性。

验收过程中，专家组对该设备进行了严格的性能测试。在连续运转测试中，增速器实现了48000转/分钟的超高速稳定运行，并完成了15000至50000转/分钟范围内的变转速运转测试。测试结果显示，该设备的振动、温升和噪音等各项指标均符合设计要求。

据介绍，在研发过程中，科研团队攻克了多项技术难题。他们通过优化高速传动系统的振动噪声控制技术，解决了滑油系统真空密封与高安全性的设计难题，并成功实现了传动系统热平衡控制及监测系统的创新设计。整个研发过程历时近7个月，最终成功研制出这套机电一体化的超高速机械齿轮增速器。

重庆大学高端装备机械传动全国重点实验室致力于解决空天海陆等领域高端装备制造中的"卡脖子"技术难题。实验室专注于啮合理论、传动系统设计制造及运维等基础研究，为国家重大战略需求提供技术支持。

重庆大学国家卓越工程师学院则聚焦于智慧能源和工业母机等关键领域，探索政产学研协同创新机制，致力于培养工程领域的拔尖人才。未来，双方将继续深化合作，在更多科技成果转化方面开展积极探索。